中國機(jī)械工程學(xué)會表面工程分會作為全國性的學(xué)術(shù)組織,于2017年提出在國內(nèi)舉辦高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應(yīng)用專題研討會,并連續(xù)在上海、蘭州、深圳和重慶成功舉辦四屆,交流報告數(shù)量和質(zhì)量顯著提升,交流內(nèi)容涉及高功率脈沖磁控濺射過程中電子與離子的相互作用,深振蕩、中頻疊加等電源與陰極靶結(jié)構(gòu)協(xié)同控制等基礎(chǔ)研究,工藝參數(shù)對膜層性能的影響、工業(yè)化存在的主要問題及對策等。定于2025年6月20-22日在蘭州召開“2025高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應(yīng)用會議”。本次具有技術(shù)前瞻性的專題會議重回蘭州召開,也將推動當(dāng)?shù)乇∧ぜ夹g(shù)的進(jìn)一步發(fā)展。熱忱歡迎國內(nèi)外從事薄膜技術(shù)研究與應(yīng)用的科技工作者參會,同時,也歡迎有意推動我國薄膜技術(shù)發(fā)展的企業(yè)參加會議和提供支持!
以高功率脈沖磁控濺射技術(shù)(HiPIMS)為代表的高離化磁控濺射技術(shù)作為一種新的物理氣相沉積技術(shù),可以明顯提高薄膜結(jié)構(gòu)可控性,進(jìn)而獲得優(yōu)異的薄膜性能,在國內(nèi)外研究領(lǐng)域和工業(yè)界受到了廣泛關(guān)注和重視。為推動該技術(shù)的進(jìn)步,國際上已經(jīng)形成了HiPIMS Today等一系列的國際會議對該技術(shù)放電機(jī)理、脈沖形式、等離子體輸運(yùn)與診斷、以及薄膜/涂層沉積與應(yīng)用等多個方面進(jìn)行專題研討,為其發(fā)展與應(yīng)用帶來了蓬勃動力!
以下內(nèi)容為GPT視角對高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應(yīng)用專題會議相關(guān)領(lǐng)域的研究解讀,僅供參考:
高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應(yīng)用研究現(xiàn)狀
技術(shù)特點(diǎn)
HiPIMS 技術(shù)是在傳統(tǒng)磁控濺射基礎(chǔ)上施加高功率脈沖電源,從而實(shí)現(xiàn)對濺射過程的精確控制。其主要特點(diǎn)包括:
高離化率:HiPIMS 技術(shù)能夠?qū)R射粒子的離化率提高至 50%以上,甚至高達(dá) 70%,這使得沉積的薄膜具有更高的密度、更好的附著力和更優(yōu)異的結(jié)晶質(zhì)量。
減少薄膜缺陷:HiPIMS 技術(shù)能夠有效減少大顆粒的產(chǎn)生,降低薄膜表面的缺陷,從而提高薄膜的均勻性和光學(xué)性能。
工藝靈活性:通過調(diào)整脈沖參數(shù),如脈沖寬度、頻率和峰值功率,HiPIMS 技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對薄膜成分、結(jié)構(gòu)和性能的調(diào)控,為制備復(fù)雜材料體系和多功能薄膜提供了可能。
應(yīng)用現(xiàn)狀
HiPIMS 技術(shù)因其獨(dú)特的優(yōu)勢,在多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用:
光學(xué)領(lǐng)域:HiPIMS 技術(shù)被廣泛用于制備高性能的光學(xué)薄膜,如增透膜、反射膜和濾光膜等。這些薄膜在光學(xué)儀器、顯示器、太陽能電池等領(lǐng)域具有重要作用。
電子領(lǐng)域:HiPIMS 技術(shù)可用于制備半導(dǎo)體器件、傳感器和存儲器等關(guān)鍵部件,提高電子設(shè)備的性能、功能、效率和美觀。
能源領(lǐng)域:太陽能電池板和其他發(fā)電應(yīng)用可以從 HiPIMS 技術(shù)中受益。例如,通過制備高質(zhì)量、高穩(wěn)定性的薄膜,HiPIMS 技術(shù)可以提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率和耐久性。
工具鍍膜領(lǐng)域:HiPIMS 技術(shù)可用于制備硬質(zhì)涂層、抗黏附涂層、耐磨涂層等,如 TiN、TiCN、CrN 等涂層,顯著提高工具的耐磨性、抗黏附性和使用壽命。
航空航天和汽車制造領(lǐng)域:HiPIMS 技術(shù)在航空航天和汽車制造等領(lǐng)域也展現(xiàn)出了廣闊的應(yīng)用前景,如用于制備高性能的涂層材料,提高部件的耐腐蝕性和耐候性。
研究現(xiàn)狀
目前,HiPIMS 技術(shù)的研究主要集中在以下幾個方面:
技術(shù)改進(jìn):針對 HiPIMS 技術(shù)存在的沉積速率低、涂層應(yīng)力高等問題,研究人員正在通過波形疊加及同步偏壓、增加輔助裝置等方式進(jìn)行技術(shù)改進(jìn),以提高涂層沉積效率和性能。
復(fù)合技術(shù):研究人員正在探索將 HiPIMS 技術(shù)與其他濺射和電弧技術(shù)(如直流磁控濺射、射頻磁控濺射、中頻磁控濺射和電弧離子鍍等)進(jìn)行復(fù)合,以提升涂層沉積效率和性能。
新材料開發(fā):隨著對材料性能要求的不斷提高,研究人員正在利用 HiPIMS 技術(shù)開發(fā)新型涂層材料,以滿足不同領(lǐng)域的需求。
工藝優(yōu)化:通過對 HiPIMS 技術(shù)的工藝參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,如脈沖寬度、頻率、峰值功率等,研究人員正在探索如何進(jìn)一步提高薄膜的質(zhì)量和性能。
高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應(yīng)用研究可以應(yīng)用在哪些行業(yè)或產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域
電子領(lǐng)域:
HiPIMS技術(shù)可用于提高電子設(shè)備的性能、功能、效率和美觀。例如,在半導(dǎo)體器件、傳感器和存儲器等關(guān)鍵部件的制備中,HiPIMS技術(shù)能夠沉積出高質(zhì)量、高穩(wěn)定性的薄膜,從而提升電子設(shè)備的整體性能。
光學(xué)領(lǐng)域:
HiPIMS技術(shù)被廣泛用于制備高性能的光學(xué)薄膜,如增透膜、反射膜和濾光膜等。這些薄膜在光學(xué)儀器、顯示器、太陽能電池等領(lǐng)域具有重要作用,能夠提升光學(xué)設(shè)備的性能和效率。
能源領(lǐng)域:
太陽能電池板和其他發(fā)電應(yīng)用可以從HiPIMS技術(shù)中受益。通過制備高質(zhì)量、高穩(wěn)定性的薄膜,HiPIMS技術(shù)可以提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率和耐久性,從而推動能源產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。
航空航天和運(yùn)輸領(lǐng)域:
HiPIMS技術(shù)在航空航天和運(yùn)輸領(lǐng)域也有重要應(yīng)用。例如,在飛機(jī)、火箭等航空航天器的表面涂層制備中,HiPIMS技術(shù)能夠沉積出具有優(yōu)異耐磨性、耐腐蝕性和耐高溫性能的涂層,從而延長航空航天器的使用壽命。
工具鍍膜領(lǐng)域:
HiPIMS技術(shù)可用于制備硬質(zhì)涂層、抗黏附涂層、耐磨涂層等,如TiN、TiCN、CrN等涂層。這些涂層能夠顯著提高工具的耐磨性、抗黏附性和使用壽命,從而廣泛應(yīng)用于刀具、模具等工具的表面處理。
其他領(lǐng)域:
除了上述領(lǐng)域外,HiPIMS技術(shù)還可以應(yīng)用于食品包裝、珠寶、生物醫(yī)學(xué)等多個領(lǐng)域。例如,在食品包裝領(lǐng)域,HiPIMS技術(shù)可以沉積出具有優(yōu)異阻隔性能的薄膜,從而延長食品的保質(zhì)期;在珠寶領(lǐng)域,HiPIMS技術(shù)可以沉積出具有美觀色澤和耐磨性能的涂層,從而提升珠寶的品質(zhì)和價值。
高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應(yīng)用領(lǐng)域有哪些知名研究機(jī)構(gòu)或企業(yè)品牌
研究機(jī)構(gòu)
中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所:該所的碳基薄膜材料技術(shù)團(tuán)隊(duì)在高功率脈沖磁控濺射涂層裝備研制、等離子體放電分析、涂層應(yīng)用驗(yàn)證等方面開展了深入細(xì)致的研究,并取得了顯著成果。
哈爾濱工業(yè)大學(xué):在高功率脈沖磁控濺射技術(shù)方面也有深入的研究,并與多家企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)合作,推動該技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用。
北京大學(xué)深圳研究生院:曾主辦過關(guān)于高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應(yīng)用專題的會議,匯聚了眾多專家學(xué)者共同探討該技術(shù)的發(fā)展與未來。
企業(yè)品牌
Dah Young:作為全球知名的大型咨詢機(jī)構(gòu),Dah Young在高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS)鍍膜機(jī)行業(yè)具有重要地位。
CemeCon AG:該企業(yè)也是高功率脈沖磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域的重要參與者,其產(chǎn)品和服務(wù)在市場上享有較高聲譽(yù)。
Nanovak:專注于高功率脈沖磁控濺射技術(shù)的研發(fā)和應(yīng)用,為客戶提供高質(zhì)量的鍍膜解決方案。
Platit:在高功率脈沖磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),其產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于多個行業(yè)。
廣東匯成真空科技:國內(nèi)知名的真空鍍膜設(shè)備制造商,在高功率脈沖磁控濺射技術(shù)方面也有深入的研究和應(yīng)用。
北京丹普表面技術(shù):專注于表面處理技術(shù)的研究和應(yīng)用,包括高功率脈沖磁控濺射技術(shù)。
福州克雷斯試驗(yàn)設(shè)備:提供高功率脈沖磁控濺射相關(guān)的試驗(yàn)設(shè)備和解決方案。
此外,還有深圳市英能電氣有限公司、唐山標(biāo)先電子有限公司等企業(yè),在高功率脈沖磁控濺射電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售方面也具有較高的知名度和市場份額。
高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應(yīng)用領(lǐng)域有哪些招聘崗位或就業(yè)機(jī)會
研發(fā)類崗位:
高級研發(fā)工程師:負(fù)責(zé)HiPIMS技術(shù)的研發(fā)、改進(jìn)和優(yōu)化,以及新材料的開發(fā)和應(yīng)用。
工藝研發(fā)工程師:專注于HiPIMS工藝的研發(fā)和優(yōu)化,提高薄膜的質(zhì)量和性能。
材料研發(fā)工程師:研究新型材料在HiPIMS技術(shù)中的應(yīng)用,開發(fā)具有特定性能的薄膜材料。
生產(chǎn)類崗位:
生產(chǎn)工程師:負(fù)責(zé)HiPIMS設(shè)備的生產(chǎn)、調(diào)試和維護(hù),確保生產(chǎn)流程的順暢進(jìn)行。
機(jī)械加工工程師:參與HiPIMS設(shè)備的機(jī)械加工和制造,確保設(shè)備的精度和性能。
中試生產(chǎn)技術(shù)工程師:負(fù)責(zé)HiPIMS技術(shù)的中試生產(chǎn),驗(yàn)證工藝的穩(wěn)定性和可靠性。
銷售與市場類崗位:
市場推廣專員:負(fù)責(zé)HiPIMS技術(shù)和產(chǎn)品的市場推廣,拓展客戶群體。
銷售經(jīng)理:制定銷售策略,管理銷售團(tuán)隊(duì),實(shí)現(xiàn)銷售目標(biāo)。
國際銷售助理/國內(nèi)銷售助理:協(xié)助銷售經(jīng)理進(jìn)行銷售支持,處理客戶訂單和售后服務(wù)。
技術(shù)支持與服務(wù)類崗位:
技術(shù)支持工程師:為客戶提供HiPIMS技術(shù)的技術(shù)支持和解決方案。
售后服務(wù)工程師:負(fù)責(zé)HiPIMS設(shè)備的售后服務(wù),解決客戶在使用過程中遇到的問題。
其他相關(guān)崗位:
財(cái)務(wù)管理:負(fù)責(zé)HiPIMS技術(shù)相關(guān)項(xiàng)目的財(cái)務(wù)管理和預(yù)算控制。
人事行政專員:負(fù)責(zé)HiPIMS技術(shù)團(tuán)隊(duì)的人力資源管理和行政事務(wù)。
精密設(shè)備運(yùn)維技術(shù)工程師:負(fù)責(zé)HiPIMS設(shè)備的精密運(yùn)維,確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。
中國機(jī)械工程學(xué)會表面工程分會
聯(lián)系人:
段金弟 13971036507 蔣超 18971299299
西北師范大學(xué)
聯(lián)系人:
李文生 13919250687 趙雲(yún)15294201657
【報告征集】
為進(jìn)一步擴(kuò)大會議影響,本次專題會議面向社會征集演講報告,范圍包括:
1、等離子體放電與診斷;
2、濺射靶材與工藝;
3、先進(jìn)涂層與薄膜技術(shù);
4、hipims電源與裝備;
5、hipims涂層的應(yīng)用與發(fā)展趨勢等。
歡迎行業(yè)從業(yè)人員從技術(shù)應(yīng)用層面出發(fā)積極參與交流,踴躍投稿。
截止時間:2025年5月30日(登錄官網(wǎng)注冊提交,額滿即止)
【會議注冊及住宿】
會議注冊費(fèi):
(1)表面工程分會委員 1000元/人;
(2)6月10日(含)前注冊 正式代表1000元/人,學(xué)生代表800元/人(憑學(xué)生證);
(3)6月10日后及現(xiàn)場注冊 正式代表1200元/人,學(xué)生代表900元/人(憑學(xué)生證)。
住宿:待定
統(tǒng)一安排餐食,住宿費(fèi)用自理。注冊、繳費(fèi)、提交報告請?jiān)L問會議官網(wǎng):https://meeting.cmes.org/?sid=1433&mid=358&v=100