本屆國際先進(jìn)光刻技術(shù)研討會被IEEE收錄

　　會議投稿論文將送檢IEEE Xplore與EI

　　歡迎大家踴躍投稿報名！

　　摘要提交截止日期: 2021.07.01

　　摘要接收通知日期: 2021.07.21

　　全文稿件截止日期: 2021.09.30

　　報 名 入 口

　　官網(wǎng)報名鏈接：

　　https://www.iwaps.org/cn/index/10

　　或手機(jī)掃碼通過邀請函報名

　　論 文 征 集

　　IWAPS致力于發(fā)表前沿的微電子制造技術(shù)研究成果。會議主題涵蓋先進(jìn)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中從早期的理論和實驗，到工業(yè)化大規(guī)模量產(chǎn)的應(yīng)用等內(nèi)容。包括但不局限于:

　　- 光刻

　　- 極紫外光刻

　　- 新型技術(shù)

　　- 量測及缺陷檢測

　　- 設(shè)計工藝聯(lián)合優(yōu)化與可制造性設(shè)計

　　- 材料

　　- 器件

　　- 工藝

　　會議投稿請?zhí)峤恢拎]箱：

　　iwaps_program@ime.ac.cn

　　摘 要 要 求

　　摘要必須清楚地描述論文的性質(zhì)、研究主題、研究內(nèi)容、組織結(jié)構(gòu)、要點以及研究意義。且用英文撰寫。

　　摘要必須包括以下內(nèi)容：論文標(biāo)題、關(guān)鍵詞、作者的姓名、所屬單位、郵件地址和通訊地址。摘要的字?jǐn)?shù)不應(yīng)超過500個單詞。對研究內(nèi)容的細(xì)節(jié)的描述將增加稿件被接收的可能。同時，我們建議在提交的摘要中使用圖表。

　　論文摘要模板下載地址：

　　https://www.iwaps.org/index/10

　　在截止日期之后提交的摘要將根據(jù)具體情況進(jìn)行審議。

　　報 告 要 求

　　口頭報告

　　被選作進(jìn)行口頭報告的作者，應(yīng)當(dāng)參加2021年的IWAPS 會議并用英文進(jìn)行15分鐘與論文相關(guān)的技術(shù)報告。演講者應(yīng)當(dāng)預(yù)先提供其會議報告的PPT。

　　海報展示

　　被選作進(jìn)行海報展示的作者，可于展示當(dāng)日上午9點起張貼海報。展板上將印有按序排列的論文編號，請按論文編號將海報張貼在相應(yīng)位置。會場將提供圖釘用于海報張貼。

　　會 議 介 紹

　　近年來，中國集成電路產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展，基于這樣的形勢，國際先進(jìn)光刻技術(shù)研討會(International Workshop on Advanced Patterning Solutions，IWAPS)應(yīng)運(yùn)而生。IWAPS為來自國內(nèi)外半導(dǎo)體工業(yè)界、學(xué)術(shù)界的資深技術(shù)專家和優(yōu)秀研究人員等提供了一個技術(shù)交流平臺，參會者可以就材料、設(shè)備、工藝、測量、計算光刻和設(shè)計優(yōu)化等主題分享各自的研究成果，探討圖形化解決方案，研討即將面臨的技術(shù)挑戰(zhàn)。

　　本屆國際先進(jìn)光刻技術(shù)研討會已被IEEE收錄，會議全文將送檢IEEE Xplore與EI。