本次會議共設九個分會：

1) Vacuum Science & Technology (VS) & Concurrent Conference: The 15th International Conference on Vacuum Science and Engineering Application

分會主席：

王曉冬 東北大學

張振厚 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

孫立臣 北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所

郇　慶 中國科學院物理研究所

2) SurfaceScience (SS) / Applied Surface Science (AS)

分會主席：

董振超 中國科學技術大學

郭建東 中國科學院物理研究所

林　曉 中國科學院大學

吳　凱 北京大學

沈　健 復旦大學

肖旭東 香港中文大學

許建斌 香港中文大學

林　念 香港科技大學

Andrew Wee 新加坡國立大學

3) Nanosciences (NS)

分會主席：

顧長志 中國科學院物理研究所

郭萬林 南京航空航天大學

周　武 中國科學院大學

孫立濤 東南大學

張遠波 復旦大學

任文才 中國科學院金屬研究所

杜世萱 中國科學院物理研究所

劉　政 新加坡南洋理工大學

4) Thin Film (TF)/SurfaceEngineering (SE)

分會主席：

潘　峰 清華大學

王業(yè)亮 北京理工大學

徐梽川 新加坡南洋理工大學

林　媛 電子科技大學

朱文光 中國科學技術大學

5) Electronic Materials & Processing (EM) / Display Technology (DT)

分會主席：

鄧少芝 中山大學

郭太良 福州大學

孫洪波 清華大學

劉　琦 中國科學院微電子研究所

徐海陽 東北師范大學

皮孝東 浙江大學

佘峻聰 中山大學

6) Plasma and Plasmonics (PP)

分會主席：

萬寶年 中國科學院等離子體研究所

戴　慶 國家納米中心

徐紅星 武漢大學

祝世寧 南京大學

7) Biointerfaces and Multidisciplinary (BM)

分會主席：

顧　寧 東南大學

韋其和 南方科技大學

劉寶林 上海理工大學

趙建龍 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所

8) CVS special activity (in Chinese, 中文報告（真空科學與技術交流活動）)

分會主席：

張永明 北京中科科儀股份有限公司

雷震霖 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

王西龍 浙江真空設備集團有限公司

李俊杰 中國科學院物理研究所

9) The Latest Developments in Synchrotron Radiation

分會主席：

Maria C. Asensio 馬德里材料研究所

封東來 中國科學技術大學