以高功率脈沖磁控濺射技術(shù)（HiPIMS）為代表的高離化磁控濺射技術(shù)作為一種新的物理氣相沉積技術(shù)，可以明顯提高薄膜結(jié)構(gòu)可控性，進(jìn)而獲得優(yōu)異的薄膜性能，在國(guó)內(nèi)外研究領(lǐng)域和工業(yè)界受到了廣泛關(guān)注和重視。為推動(dòng)該技術(shù)的進(jìn)步，國(guó)際上已經(jīng)形成了HiPIMS Today等一系列的國(guó)際會(huì)議對(duì)該技術(shù)放電機(jī)理、脈沖形式、等離子體輸運(yùn)與診斷、以及薄膜/涂層沉積與應(yīng)用等多個(gè)方面進(jìn)行專題研討，為其發(fā)展與應(yīng)用帶來了蓬勃?jiǎng)恿Γ?/p>

中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)表面工程分會(huì)作為全國(guó)性的學(xué)術(shù)組織，于2017年提出在國(guó)內(nèi)舉辦高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應(yīng)用專題研討會(huì)，并連續(xù)在上海、蘭州和深圳成功舉辦三屆，交流報(bào)告數(shù)量和質(zhì)量顯著提升，交流內(nèi)容涉及高功率脈沖磁控濺射過程中電子與離子的相互作用，深振蕩、中頻疊加等電源與陰極靶結(jié)構(gòu)協(xié)同控制等基礎(chǔ)研究，工藝參數(shù)對(duì)膜層性能的影響、工業(yè)化存在的主要問題及對(duì)策等。參會(huì)人員由80人迅速增加到200余人，通過會(huì)議交流、深入討論及與國(guó)際知名企業(yè)的對(duì)接，推動(dòng)了我國(guó)高功率脈沖磁控濺射技術(shù)的發(fā)展。

近年來，國(guó)家對(duì)科技創(chuàng)新日益關(guān)注，習(xí)近平總書記多次強(qiáng)調(diào)創(chuàng)新的重要性，科技創(chuàng)新被提到了十分重要的位置。重慶作為中西部唯一的直轄市、國(guó)家先進(jìn)制造業(yè)中心，在國(guó)家區(qū)域發(fā)展和對(duì)外開放格局中具有獨(dú)特而重要的作用，必將為本次創(chuàng)新型會(huì)議提供良好的交流氛圍；同時(shí)，本次具有技術(shù)前瞻性的學(xué)術(shù)會(huì)議在重慶召開，也將推動(dòng)當(dāng)?shù)乇∧ぜ夹g(shù)的發(fā)展進(jìn)步。

經(jīng)中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)表面工程分會(huì)與西南大學(xué)材料與能源學(xué)院協(xié)商，定于2023年10月20～22日在重慶召開“2023高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應(yīng)用會(huì)議”。熱忱歡迎國(guó)內(nèi)外從事薄膜技術(shù)研究與應(yīng)用的科技工作者參會(huì)，同時(shí)，也歡迎有意推動(dòng)我國(guó)薄膜技術(shù)發(fā)展的企業(yè)參加會(huì)議和提供支持！

【會(huì)議組織機(jī)構(gòu)】

學(xué)術(shù)委員會(huì)：

主席：

雷明凱 中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)表面工程分會(huì) 主任委員

田修波 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 教授

委員：

段海濤 魏世丞 劉宣勇 劉敏 喬培新 朱旻昊

李紅軒 張津 張偉 朱嘉琦 汪愛英 楊冠軍

姜肅猛 魏建軍 李長(zhǎng)久 王立平 范多旺 吳勇

孫超 王周成 陳慶川 夏原 張俊彥 譚俊

馮煜東 李劉合 劉瑩 任妮 劉彭義 范平

組織委員會(huì)：

主席：

段金弟 中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)表面工程分會(huì) 總干事

孫德恩 西南大學(xué) 教授

吳忠振 北京大學(xué)深圳研究生院 教授

委員：

藺增 朱小鵬 唐振方 羅景庭 張廣安 陳輝

金瑩 雷占許 冷永祥 鄧暢光 孫曉峰 謝玉江

王啟民 李昱鵬 巖雨 唐光澤 古樂 王鐵鋼

李玉閣 曹輝亮 鄧春明 陳茜 賀定勇 柯培玲

許一 杭瑞強(qiáng) 曾志翔 林修洲 金杰 馬飛

亓建偉 蘇峰華 馬天寶 蒲吉斌 馬國(guó)政 鄭軍

張旭海 涂杰松 馮凱 鞠鵬飛 鐘萍 占穩(wěn)

祁正兵 米新艷 杜昊 吳愛民 張侃 隋旭東

歐伊翔 張海寶 吳正濤

會(huì)議秘書：

張存修 蔣超

以下內(nèi)容為GPT視角對(duì)高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應(yīng)用相關(guān)領(lǐng)域的解讀，僅供參考：

高功率脈沖磁控濺射技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀

高功率脈沖磁控濺射技術(shù)是一種先進(jìn)的表面處理技術(shù)，具有廣泛的應(yīng)用前景。這種技術(shù)目前已經(jīng)應(yīng)用于現(xiàn)代建筑、民用住宅、汽車、電子等領(lǐng)域，并且逐漸展示出其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)和潛力。

然而，該技術(shù)的發(fā)展還面臨一些挑戰(zhàn)。例如，脈沖磁控濺射技術(shù)需要消耗大量能量，設(shè)備的成本較高，而且沉積效率也不盡如人意。此外，該技術(shù)的工藝參數(shù)需要進(jìn)一步優(yōu)化，以獲得更好的性能和更廣泛的應(yīng)用。

盡管如此，高功率脈沖磁控濺射技術(shù)的發(fā)展前景依然十分廣闊。未來，隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和完善，相信這種表面處理技術(shù)將能夠更好地滿足各種應(yīng)用需求，為工業(yè)和科技發(fā)展帶來更多的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。

高功率脈沖磁控濺射技術(shù)典型應(yīng)用領(lǐng)域

1. 微電子領(lǐng)域：作為非熱式鍍膜技術(shù)，高功率脈沖磁控濺射技術(shù)可用于生長(zhǎng)困難或不適用的材料薄膜，如Al、Cu、Au、W、Ti等金屬電極薄膜以及TiN、Ta2O5、TiO、Al2O3、ZrO2、AIN等介質(zhì)薄膜。這些薄膜可作為歐姆接觸層或柵絕緣層或擴(kuò)散勢(shì)壘層等，在大規(guī)模集成電路、太陽能電池、發(fā)光二極管等制造中發(fā)揮重要作用。
2. 裝飾鍍膜領(lǐng)域：高功率脈沖磁控濺射技術(shù)可實(shí)現(xiàn)各種顏色和光學(xué)膜系的濺射沉積，如制備TiN金黃色膜系，在汽車裝飾、建筑玻璃等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
3. 工具鍍膜領(lǐng)域：高功率脈沖磁控濺射技術(shù)可用于制備硬質(zhì)涂層、抗黏附涂層、耐磨涂層等，如TiN、TiCN、CrN等涂層，顯著提高工具的耐磨性、抗黏附性和使用壽命。

高功率脈沖磁控濺射技術(shù)前沿科技

1. 脈沖電源技術(shù)的改進(jìn)：為了獲得更高的沉積速率和更好的薄膜質(zhì)量，需要研發(fā)出更高功率、更高穩(wěn)定性的脈沖電源。目前，一些新型的脈沖電源如納秒脈沖電源、調(diào)制脈沖電源等已經(jīng)開始得到應(yīng)用，未來還有望研發(fā)出更高級(jí)別的脈沖電源。
2. 磁控濺射工藝的優(yōu)化：優(yōu)化磁控濺射工藝參數(shù)，包括脈沖寬度、脈沖能量、脈沖頻率、濺射氣壓等，以提高薄膜的沉積速率、質(zhì)量、致密度等。同時(shí)，采用多靶磁控濺射技術(shù)、反應(yīng)磁控濺射技術(shù)等，可進(jìn)一步提高薄膜的性能和適用性。
3. 新型材料的研發(fā)：利用高功率脈沖磁控濺射技術(shù)，可以沉積各種新型材料，如高溫超導(dǎo)材料、納米材料、復(fù)合材料等。這些新型材料的研發(fā)和應(yīng)用，將為未來的科技發(fā)展帶來新的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。
4. 跨學(xué)科的應(yīng)用研究：高功率脈沖磁控濺射技術(shù)的應(yīng)用研究已經(jīng)涉及到多個(gè)領(lǐng)域，如能源、生物、環(huán)保等。未來，隨著科技的發(fā)展和交叉融合，高功率脈沖磁控濺射技術(shù)的應(yīng)用研究還將進(jìn)一步擴(kuò)展和深化。

高功率脈沖磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域知名品牌

1. 騰勝科技：該公司是國(guó)內(nèi)較早從事脈沖磁控濺射技術(shù)研究和開發(fā)的企業(yè)，具有較高的知名度和影響力。
2. 宏大真空：該公司在真空鍍膜領(lǐng)域擁有多年的研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，是高功率脈沖磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域的重要參與者之一。
3. 匯成真空：該公司在真空鍍膜領(lǐng)域擁有廣泛的技術(shù)和產(chǎn)品，在高功率脈沖磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域也有一定的市場(chǎng)份額。
4. 東威科技：該公司是一家專業(yè)從事表面處理設(shè)備制造的企業(yè)，其脈沖磁控濺射設(shè)備在業(yè)界有一定的知名度和口碑。

高功率脈沖磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域知名專家

1. Ferreira教授：來自葡萄牙的Fábio Ferreira教授是脈沖磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域的知名專家，他在高功率脈沖磁控濺射技術(shù)的研究和應(yīng)用方面有著顯著的貢獻(xiàn)。
2. 朱嘉琦教授：來自哈爾濱工業(yè)大學(xué)的朱嘉琦教授是表面工程領(lǐng)域的知名專家，他在高能脈沖濺射、磁控濺射等領(lǐng)域有著豐富的經(jīng)驗(yàn)和突出的研究成果。
3. 李志偉教授：來自臺(tái)灣明治科技大學(xué)的李志偉教授是納米材料制備領(lǐng)域的知名專家，他在利用脈沖磁控濺射技術(shù)制備納米材料方面有著重要的貢獻(xiàn)。
4. 龐曉露教授：來自北京科技大學(xué)的龐曉露教授是界面科學(xué)領(lǐng)域的知名專家，她在界面強(qiáng)結(jié)合膜層開裂對(duì)基體損傷機(jī)制及防護(hù)研究方面有著重要的成果。
5. 張侃教授：來自吉林大學(xué)的張侃教授是材料科學(xué)領(lǐng)域的知名專家，他在高硬高韌薄膜材料的微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及環(huán)境自適應(yīng)調(diào)控方面有著突出的研究成果。
6. 林海平總經(jīng)理：來自東莞市華升真空鍍膜科技有限公司的林海平總經(jīng)理是真空鍍膜領(lǐng)域的資深專家，他在HiPIMS+Arc鍍膜技術(shù)平臺(tái)的研究和開發(fā)方面有著重要的貢獻(xiàn)。
7. 雷明凱教授：來自大連理工大學(xué)的雷明凱教授是等離子體物理領(lǐng)域的知名專家，他在高功率脈沖磁控濺射等離子體模擬研究方面有著顯著的研究成果。
8. 汪愛英研究員：來自中科院寧波材料技術(shù)與工程研究所的汪愛英研究員是海洋腐蝕防護(hù)領(lǐng)域的知名專家，她在面向海洋腐蝕防護(hù)的HiPIMS涂層關(guān)鍵技術(shù)方面有著重要的研究成果。
9. 張海寶博士：來自北京印刷學(xué)院的張海寶博士是表面工程領(lǐng)域的知名專家，他在高功率脈沖磁控濺射沉積二氧化釩熱致變色薄膜的研究方面有著重要的成果。
10. 孫德恩教授：來自西南大學(xué)的孫德恩教授是材料科學(xué)領(lǐng)域的知名專家，他在硬質(zhì)薄膜的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與耐蝕性實(shí)現(xiàn)方面有著重要的研究成果。